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標(biāo)簽 > 光刻機(jī)
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用來(lái)提高光刻機(jī)分辨率的浸潤(rùn)式光刻技術(shù)介紹
? 本文介紹了用來(lái)提高光刻機(jī)分辨率的浸潤(rùn)式光刻技術(shù)。 芯片制造:光刻技術(shù)的演進(jìn) 過(guò)去半個(gè)多世紀(jì),摩爾定律一直推動(dòng)著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,但當(dāng)光刻機(jī)的光源波長(zhǎng)...
? 本文介紹了光刻機(jī)在芯片制造中的角色和地位,并介紹了光刻機(jī)的工作原理和分類(lèi)。? ? ? ?? 光刻機(jī):芯片制造的關(guān)鍵角色 ? ? 光刻機(jī)在芯片制造中占...
一文看懂光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)及雙工件臺(tái)技術(shù)
? 集成電路作為現(xiàn)代信息技術(shù)的核心與基石,其發(fā)展一直遵循著Intel創(chuàng)始人之一戈登·摩爾提出的摩爾定律:價(jià)格不變時(shí),約每隔18-24個(gè)月,集成度增加一倍...
雖然DUVL機(jī)器可以通過(guò)多重曝光技術(shù)將線寬縮小到7-5納米,但如果要獲得更小的線寬,DUVL已經(jīng)達(dá)到了極限。采用EUV作為光源的極紫外光刻(EUVL)成...
光刻機(jī)有很多種類(lèi)型,但有時(shí)也很難用類(lèi)型進(jìn)行分類(lèi)來(lái)區(qū)別設(shè)備,因?yàn)橛行┓诸?lèi)僅是在某一分類(lèi)下的分類(lèi)。
光刻機(jī)經(jīng)歷了5代產(chǎn)品發(fā)展,每次改進(jìn)和創(chuàng)新都顯著提升了光刻機(jī)所能實(shí)現(xiàn)的最小工藝節(jié)點(diǎn)。按照使用光源依次從g-line、i-line發(fā)展到KrF、ArF和EU...
刻蝕機(jī)是干什么用的 刻蝕機(jī)和光刻機(jī)的區(qū)別
刻蝕機(jī)的刻蝕過(guò)程和傳統(tǒng)的雕刻類(lèi)似,先用光刻技術(shù)將圖形形狀和尺寸制成掩膜,再將掩膜與待加工物料模組裝好,將樣品置于刻蝕室內(nèi),通過(guò)化學(xué)腐蝕或物理磨蝕等方式將...
在曝光過(guò)程中,掩模版與涂覆有光刻膠的硅片直接接觸。接觸式光刻機(jī)的縮放比為1:1,分辨率可達(dá)到4-5微米。由于掩模和光刻膠膜層反復(fù)接觸和分離,隨著曝光次數(shù)...
集成電路制造關(guān)鍵裝備要求零部件材料具有高純度、高致密度、高強(qiáng)度、高彈性模量、高導(dǎo)熱系數(shù)和低熱膨脹系數(shù)等特點(diǎn),且且結(jié)構(gòu)件要具有極高的尺寸精度和結(jié)構(gòu)復(fù)雜性,...
類(lèi)別:IC datasheet pdf 2022-06-13 標(biāo)簽:光刻機(jī)EUV 766 0
類(lèi)別:IC datasheet pdf 2022-06-13 標(biāo)簽:光刻機(jī)EUV 328 0
光刻機(jī)E_Pin升降機(jī)構(gòu)的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)_徐加彥立即下載
類(lèi)別:模擬數(shù)字論文 2017-01-19 標(biāo)簽:光刻機(jī)EPin升降機(jī)構(gòu) 1573 0
高精度光刻機(jī)在大規(guī)模集成電路上的應(yīng)用立即下載
類(lèi)別:半導(dǎo)體技術(shù)論文 2011-10-28 標(biāo)簽:集成電路光刻機(jī) 1932 0
類(lèi)別:產(chǎn)品手冊(cè) 2009-12-14 標(biāo)簽:光刻機(jī) 1713 0
半導(dǎo)體設(shè)備光刻機(jī)防震基座在 LCD 面板制造曝光機(jī)中的成功應(yīng)用案例
在 LCD(Liquid Crystal Display)面板制造領(lǐng)域,曝光機(jī)是核心設(shè)備之一。它的作用是通過(guò)高精度的光刻技術(shù),將設(shè)計(jì)好的電路圖案精確地轉(zhuǎn)...
據(jù)日經(jīng)亞洲 12 月 19 日?qǐng)?bào)道,Rapidus 成為日本首家獲得極紫外 (EUV) 光刻設(shè)備的半導(dǎo)體公司,已經(jīng)開(kāi)始在北海道芯片制造廠內(nèi)安裝極紫外光刻...
光刻機(jī)的分辨率受光源波長(zhǎng)(λ)、工藝因子(k1)和數(shù)值孔徑(NA)三個(gè)主要參數(shù)的影響。根據(jù)瑞利第一公式(CD = k1*λ/NA),這三個(gè)參數(shù)共同決定了...
一文了解光刻機(jī)成像系統(tǒng)及光學(xué)鍍膜技術(shù)
高端光刻機(jī)研發(fā)是一個(gè)系統(tǒng)工程,涉及到各方面技術(shù)的持續(xù)改進(jìn)和突破,在材料科學(xué)方面涉及低吸收損耗石英材料、高純度薄膜材料的開(kāi)發(fā),在精密光學(xué)領(lǐng)域涉及精密光學(xué)加...
2024-11-21 標(biāo)簽:光學(xué)系統(tǒng)光刻機(jī)半導(dǎo)體集成電路 366 0
光刻機(jī)巨頭拋出重磅信號(hào) 阿斯麥(ASML)股價(jià)大幅上漲
在2024年投資者會(huì)議上,光刻機(jī)巨頭拋出重磅利好;緊接著ASML股價(jià)開(kāi)始大幅拉升;一度上漲超5%。截止收盤(pán)上漲2.9%。 阿斯麥在會(huì)議上宣布,預(yù)計(jì)203...
今日看點(diǎn)丨 2011億元!比亞迪單季營(yíng)收首次超過(guò)特斯拉;三星將于2025年初引進(jìn)High NA EUV光刻機(jī)
1. 三星將于2025 年初引進(jìn)High NA EUV 光刻機(jī),加快開(kāi)發(fā)1nm 芯片 ? 據(jù)報(bào)道,三星電子正準(zhǔn)備在2025年初引入其首款High NA ...
股價(jià)26年來(lái)最大跌幅!ASML后悔了嗎?
ASML因?yàn)榧夹g(shù)故障提前公布第三季度財(cái)報(bào),其股價(jià)遭遇了26年來(lái)的最大跌幅,ASML后悔了嗎? 北京時(shí)間10月15日(周二)晚間22點(diǎn)左右,ASML提前在...
光刻機(jī)巨頭ASML業(yè)績(jī)暴雷,芯片迎來(lái)新一輪“寒流”?
電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/黃山明)作為芯片制造過(guò)程中的核心設(shè)備,光刻機(jī)決定著芯片工藝的制程。尤其是EUV光刻機(jī)已經(jīng)成為高端芯片(7nm及以下)芯片量產(chǎn)的關(guān)鍵...
光刻機(jī)巨頭阿斯麥業(yè)績(jī)爆雷 ASML股價(jià)暴跌16.26%創(chuàng)最大的單日跌幅
在當(dāng)?shù)貢r(shí)間周二,荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥公布了一份不及預(yù)期的第三季度業(yè)績(jī)報(bào)告;訂單量環(huán)比下降53%,?業(yè)績(jī)爆雷第一時(shí)間反應(yīng)到ASML公司的股價(jià)暴跌。 在美股...
今日看點(diǎn)丨英特爾確認(rèn) ASML 第二臺(tái) High NA EUV 光刻機(jī)完成安裝;榮耀 X60 系列手機(jī)官宣支持衛(wèi)星通信技術(shù)
1. 三星加速先進(jìn)制程投資 明年Q1 建成月產(chǎn)能7000 片晶圓2nm 產(chǎn)線 ? 據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露,三星電子正在加快建立用于量產(chǎn)2nm工藝的生產(chǎn)設(shè)施。該公...
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