IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor),絕緣柵雙極型晶體管,是由BJT(雙極型三極管)和MOS(絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)管)組成的復(fù)合全控型電壓驅(qū)動(dòng)式功率半導(dǎo)體器件, 兼有MOSFET的高輸入阻抗和GTR的低導(dǎo)通壓降兩方面的優(yōu)點(diǎn)。GTR飽和壓降低,載流密度大,但驅(qū)動(dòng)電流較大;MOSFET驅(qū)動(dòng)功率很小,開(kāi)關(guān)速度快,但導(dǎo)通壓降大,載流密度小。IGBT綜合了以上兩種器件的優(yōu)點(diǎn),驅(qū)動(dòng)功率小而飽和壓降低。非常適合應(yīng)用于直流電壓為600V及以上的變流系統(tǒng)如交流電機(jī)、變頻器、開(kāi)關(guān)電源、照明電路、牽引傳動(dòng)等領(lǐng)域。
IGBT模塊是由IGBT(絕緣柵雙極型晶體管芯片)與FWD(續(xù)流二極管芯片)通過(guò)特定的電路橋接封裝而成的模塊化半導(dǎo)體產(chǎn)品;封裝后的IGBT模塊直接應(yīng)用于變頻器、UPS不間斷電源等設(shè)備上;
IGBT模塊具有節(jié)能、安裝維修方便、散熱穩(wěn)定等特點(diǎn);當(dāng)前市場(chǎng)上銷售的多為此類模塊化產(chǎn)品,一般所說(shuō)的IGBT也指IGBT模塊;隨著節(jié)能環(huán)保等理念的推進(jìn),此類產(chǎn)品在市場(chǎng)上將越來(lái)越多見(jiàn);
IGBT是能源變換與傳輸?shù)暮诵钠骷追Q電力電子裝置的“CPU”,作為國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),在軌道交通、智能電網(wǎng)、航空航天、電動(dòng)汽車與新能源裝備等領(lǐng)域應(yīng)用極廣。
igbt模塊的制造工藝和流程
生產(chǎn)制造流程:
絲網(wǎng)印刷? 自動(dòng)貼片?真空回流焊接?超聲波清洗?缺陷檢測(cè)(X光)?自動(dòng)引線鍵合?激光打標(biāo)?殼體塑封?殼體灌膠與固化?端子成形?功能測(cè)試
IGBT模塊封裝是將多個(gè)IGBT集成封裝在一起,以提高IGBT模塊的使用壽命和可靠性,體積更小、效率更高、可靠性更高是市場(chǎng)對(duì)IGBT模塊的需求趨勢(shì),這就有待于IGBT模塊封裝技術(shù)的開(kāi)發(fā)和運(yùn)用。目前流行的IGBT模塊封裝形式有引線型、焊針型、平板式、圓盤式四種,常見(jiàn)的模塊封裝技術(shù)有很多,各生產(chǎn)商的命名也不一樣,如英飛凌的62mm封裝、TP34、DP70等等。
IGBT模塊有3個(gè)連接部分:硅片上的鋁線鍵合點(diǎn)、硅片與陶瓷絕緣基板的焊接面、陶瓷絕緣基板與銅底板的焊接面。這些接點(diǎn)的損壞都是由于接觸面兩種材料的熱膨脹系數(shù)(C犯)不匹配而產(chǎn)生的應(yīng)力和材料的熱惡化造成的。
IGBT模塊封裝技術(shù)很多,但是歸納起來(lái)無(wú)非是散熱管理設(shè)計(jì)、超聲波端子焊接技術(shù)和高可靠錫焊技術(shù):
(1)散熱管理設(shè)計(jì)方面,通過(guò)采用封裝的熱模擬技術(shù),優(yōu)化了芯片布局及尺寸,從而在相同的ΔTjc條件下,成功實(shí)現(xiàn)了比原來(lái)高約10%的輸出功率。
(2)超聲波端子焊接技術(shù)可將此前使用錫焊方式連接的銅墊與銅鍵合引線直接焊接在一起。該技術(shù)與錫焊方式相比,不僅具備高熔點(diǎn)和高強(qiáng)度,而且不存在線性膨脹系數(shù)差,可獲得較高的可靠性。與會(huì)者對(duì)于采用該技術(shù)時(shí)不需要特別的準(zhǔn)備。富士公司一直是在普通無(wú)塵室內(nèi)接近真空的環(huán)境下制造,這種方法沒(méi)有太大的問(wèn)題。(3)高可靠性錫焊技術(shù)。普通Sn-Ag焊接在300個(gè)溫度周期后強(qiáng)度會(huì)降低35%,而Sn-Ag-In及Sn-Sb焊接在相同周期之后強(qiáng)度不會(huì)降低。這些技術(shù)均“具備較高的高溫可靠性”。
IGBT模塊封裝流程:一次焊接--一次邦線--二次焊接--二次邦線---組裝--上外殼、涂密封膠--固化---灌硅凝膠---老化篩選。這些流程不是固化的,要看具體的模塊,有的可能不需要多次焊接或邦線,有的則需要,有的可能還有其他工序。上面也只是一些主要的流程工藝,其他還有一些輔助工序,如等離子處理,超聲掃描,測(cè)試,打標(biāo)等等。
IGBT模塊封裝的作用 IGBT模塊封裝采用了膠體隔離技術(shù),防止運(yùn)行過(guò)程中發(fā)生爆炸;第二是電極結(jié)構(gòu)采用了彈簧結(jié)構(gòu),可以緩解安裝過(guò)程中對(duì)基板上形成開(kāi)裂,造成基板的裂紋;第三是對(duì)底板進(jìn)行加工設(shè)計(jì),使底板與散熱器緊密接觸,提高了模塊的熱循環(huán)能力。對(duì)底板設(shè)計(jì)是選用中間點(diǎn)設(shè)計(jì),在我們規(guī)定的安裝條件下,它的幅度會(huì)消失,實(shí)現(xiàn)更好的與散熱器連接。后面安裝過(guò)程我們看到,它在安裝過(guò)程中發(fā)揮的作用。產(chǎn)品性能,我們應(yīng)用IGBT過(guò)程中,開(kāi)通過(guò)程對(duì)IGBT是比較緩和的,關(guān)斷過(guò)程中是比較苛刻。大部分損壞是關(guān)斷造成超過(guò)額定值。
IGBT模塊封裝過(guò)程中的技術(shù)詳解
第一點(diǎn)說(shuō)到焊接技術(shù),如果要實(shí)現(xiàn)一個(gè)好的導(dǎo)熱性能,我們?cè)谶M(jìn)行芯片焊接和進(jìn)行DBC基板焊接的時(shí)候,焊接質(zhì)量就直接影響到運(yùn)行過(guò)程中的傳熱性。從上面的結(jié)構(gòu)圖我們可以看到,通過(guò)真空焊接技術(shù)實(shí)現(xiàn)的焊接??梢钥吹紻BC和基板的空洞率。這樣的就不會(huì)形成熱積累,不會(huì)造成IGBT模塊的損壞。
第二種就是鍵合技術(shù),實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)變形。鍵合的作用主要是實(shí)現(xiàn)電氣連接。在600安和1200安大電流情況下,IGBT實(shí)現(xiàn)了所有電流,鍵合的長(zhǎng)度就非常重要,陷進(jìn)決定模塊大小,電流實(shí)現(xiàn)參數(shù)的大小。運(yùn)用過(guò)程中,如果鍵合陷進(jìn)、長(zhǎng)度不合適,就會(huì)造成電流分布不均勻,容易造成 IGBT模塊的損壞。外殼的安裝,因?yàn)镮GBT本身芯片是不直接與空氣等環(huán)境接觸,實(shí)現(xiàn)絕緣性能,主要是通過(guò)外殼來(lái)實(shí)現(xiàn)的。外殼就要求在選材方面需要它具有耐高溫、不易變形、防潮、防腐蝕等特性。
第四是罐封技術(shù),如果IGBT應(yīng)用在高鐵、動(dòng)車、機(jī)車上,機(jī)車車輛運(yùn)行過(guò)程中,環(huán)境是非常惡劣的,我們可能會(huì)遇到下雨天,遇到潮濕、高原,或者灰塵比較大,如何實(shí)現(xiàn)IGBT芯片與外界環(huán)境的隔離,實(shí)現(xiàn)很好運(yùn)行的可靠性,它的罐封材料起到很重要的作用。就要求選用性能穩(wěn)定無(wú)腐蝕,具有絕緣、散熱等能力,膨脹率小、收縮率小的材料。我們大規(guī)模封裝的時(shí)候,填充材料的部分加入了緩沖層,芯片運(yùn)行過(guò)程中不斷加熱、冷卻。在這個(gè)過(guò)程中如果填充材料的熱膨脹系數(shù)與外殼不一致,那么就有可能造成分層的現(xiàn)象,在IGBT模塊中間加入一種類似于起緩沖作用的填充物,可以防止分層現(xiàn)象出現(xiàn)。
第五是質(zhì)量控制環(huán)節(jié),質(zhì)量控制所有完成生產(chǎn)后的大功率IGBT,需要對(duì)各方面性能進(jìn)行試驗(yàn),這也是質(zhì)量保證的根本,可以通過(guò)平面設(shè)施,對(duì)底板進(jìn)行平整度進(jìn)行測(cè)試,平整度在IGBT安裝以后,所有熱量散發(fā)都是底板傳輸?shù)缴崞鳌F矫娑仍胶?,散熱器接觸性能越好,導(dǎo)熱性能越好。第二是推拉測(cè)試,對(duì)鍵合點(diǎn)的力度進(jìn)行測(cè)試。第三硬度測(cè)試儀,對(duì)主電極的硬度,不能太硬、也不能太軟。超聲波掃描,主要對(duì)焊接過(guò)程,焊接以后的產(chǎn)品質(zhì)量的空洞率做一個(gè)掃描。這點(diǎn)對(duì)于導(dǎo)熱性也是很好的控制。IGBT模塊電氣方面的監(jiān)測(cè)手段,主要是監(jiān)測(cè)IGBT模塊它的參數(shù)、特性是否能滿足我們?cè)O(shè)計(jì)的要求,第二絕緣測(cè)試。