動態(tài)
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發(fā)布了文章 2024-07-18 08:16
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東南大學(xué)利用Moku:Pro跟蹤MEMS應(yīng)用諧振頻率并穩(wěn)定輸出信號幅值
簡介與挑戰(zhàn)微機電系統(tǒng)(MEMS)利用硅的電學(xué)和機械特性,將機械結(jié)構(gòu)和電子結(jié)構(gòu)集成在一起,用于檢測加速度、旋轉(zhuǎn)、角速度等。MEMS設(shè)備的核心組件包括一個垂直懸掛于設(shè)備運動方向的質(zhì)量塊,在其框架內(nèi)驅(qū)動方向上共振。通過測量框架在感應(yīng)方向上的運動,可以檢測到由旋轉(zhuǎn)運動引起的科里奧利加速度。圖1:一個質(zhì)量塊懸掛在可水平移動的中心框上。通過測量框架的運動,可以感知科里奧283瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2024-07-04 08:16
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