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如何才能生成金剛石散熱片和CVD金剛石散熱的應(yīng)用介紹

2020-11-05 | pdf | 0.71 MB | 次下載 | 1積分

資料介紹

  50 多年來,采用高壓高溫技術(shù)(HPHT) 制造的合成金剛石廣泛應(yīng)用于研磨應(yīng)用,充分發(fā)揮了金剛石極高硬度和極強(qiáng)耐磨性的特性。在過去20年中,基于化學(xué)氣相沉積(CVD) 的新金剛石生成方法已投入商業(yè)化應(yīng)用,這樣就使得以較低成本生成單晶和多晶金剛石。這些新合成方法支持全面開發(fā)利用金剛石的光學(xué)、熱學(xué)、電化、化學(xué)以及電子屬性。目前金剛石已廣泛應(yīng)用于光學(xué)和半導(dǎo)體行業(yè)。本文主要討論金剛石的熱學(xué)優(yōu)勢,介紹金剛石散熱片的工作原理,簡要展示金剛石生成方法,總結(jié)金剛石的一些常見應(yīng)用(包括應(yīng)用方法)并以金剛石未來應(yīng)用前景作為結(jié)論。首先我們來簡單介紹金剛石成為室溫下所有固體材料中最佳導(dǎo)熱體的原因及原理。金剛石導(dǎo)熱原理金剛石是立方晶體,由碳原子通過共價鍵結(jié)合形成。金剛石的許多極致屬性都是形成剛性結(jié)構(gòu)的sp3 共價鍵強(qiáng)度和少量碳原子作用下的直接結(jié)果。金屬通過自由電子傳導(dǎo)熱量,其高熱傳導(dǎo)性與高導(dǎo)電性相關(guān)聯(lián),相比之下,金剛石中的熱量傳導(dǎo)僅由晶格振動(即聲子)完成。金剛石原子之間極強(qiáng)的共價鍵使剛性晶格具有高振動頻率,因此其德拜特征溫度高達(dá)2,220°K。由于大部分應(yīng)用遠(yuǎn)低于德拜溫度,聲子散射較小,因此以聲子為媒介的熱傳導(dǎo)阻力極小。但任何晶格缺陷都會產(chǎn)生聲子散射,從而降低熱傳導(dǎo)性,這是所有晶體材料的固有特征。金剛石中的缺陷通常包括較重的 3C同位素、氮雜質(zhì)和空缺等點(diǎn)缺陷,堆垛層錯和位錯等擴(kuò)展缺陷以及晶界等2D缺陷。

  作為專門進(jìn)行熱管理的元件,天然金剛石應(yīng)用在一些早期微波和激光二極管器件中[1]、[2]。但適用天然金剛石板的可用性、尺寸及成本限制了金剛石的市場應(yīng)用。隨著熱學(xué)屬性與IIa型天然金剛石(圖1)相類似的微波輔助型CVD 多晶金剛石的出現(xiàn),可用性問題得到了解決。目前,許多供應(yīng)商提供一系列現(xiàn)成的熱學(xué)等級的金剛石。由于獨(dú)立式多晶金剛石采用直徑達(dá)140 mm 的大型晶片(圖1)生成,因此尺寸不再局限為單個器件或小型陣列,陣列尺寸可擴(kuò)展至幾厘米?;谝陨显颍珻VD 金剛石的實(shí)用性得到驗(yàn)證,自20世紀(jì)90年代以來已被廣泛應(yīng)用于各種器件之中。

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