電子發(fā)燒友App
創(chuàng)作
發(fā)文章
發(fā)帖 
提問(wèn) 
發(fā)資料
發(fā)視頻資料介紹
摘要：應(yīng)用X射線衍射儀的薄膜附件對(duì)熱絲化學(xué)氣相沉積金剛石厚膜的成核面和生長(zhǎng)面進(jìn)行分析，結(jié)果表明，金剛石厚膜的晶格常數(shù)從生長(zhǎng)面到形核面沿深度方向是逐漸變小的?；瘜W(xué)氣相沉積金剛石初期生長(zhǎng)的晶體存在大量的空位等缺陷，晶格松弛，在金剛石膜持續(xù)生長(zhǎng)過(guò)程中，形核面和膜內(nèi)部在高溫下發(fā)生長(zhǎng)時(shí)間的自退火，缺陷濃度下降，晶格松弛現(xiàn)象消除，晶格常數(shù)變小并趨于理論值。試驗(yàn)表明，經(jīng)長(zhǎng)時(shí)間高溫自退火的金剛石厚膜比薄膜具有更高的耐磨性。
關(guān)鍵詞：CVD金剛石膜；X射線衍射；晶格松弛；自退火；耐磨性能
化學(xué)氣相沉積（CVD）金剛石厚膜具有廣闊的應(yīng)用前景，如用作機(jī)械加工刀具、電子封裝熱沉材料、光學(xué)窗口材料等[1]。但沉積金剛石過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量缺陷，導(dǎo)致CVD金剛石膜性能下降[2]，這些缺陷包括雜質(zhì)、空位等，它們?cè)谖⒂^上表現(xiàn)為晶格常數(shù)的變化。本文應(yīng)用X射線衍射儀分析了熱絲CVD法沉積的金剛石厚膜晶格常數(shù)的變化規(guī)律，采用晶格松弛的觀點(diǎn)解釋不同厚度金剛石膜的性能差異。
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 如何才能生成金剛石散熱片和CVD金剛石散熱的應(yīng)用介紹
- 金剛石壓機(jī)壓力誤差補(bǔ)償?shù)腜ID控制研究 0次下載
- 金剛石散熱片的生成方法及在微波射頻領(lǐng)域的應(yīng)用解析 0次下載
- 金剛石壓機(jī)智能控制系統(tǒng)電路設(shè)計(jì)方案 0次下載
- 基于W77E58的金剛石壓機(jī)測(cè)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)
- 壓阻式金剛石壓力傳感器的優(yōu)化設(shè)計(jì)
- 人造金剛石壓機(jī)嵌入式控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)An Embedded Control System f
- 基于IPC 與PLC 相結(jié)合的金剛石合成機(jī)控制系統(tǒng)的研制
- P摻雜類金剛石薄膜的制備及生物學(xué)行為研究
- 乙醇對(duì)金剛石膜生長(zhǎng)特性的影響
- 負(fù)偏壓增強(qiáng)金剛石膜與襯底結(jié)合強(qiáng)度的理論研究
- 氮?dú)饬髁繉?duì)金剛石膜生長(zhǎng)的影響研究
- 真空電弧離子鍍膜方法沉積類金剛石膜在PMMA樹脂義齒表面的應(yīng)
- 金剛石磨輪的電火花成形磨削加工
- 基于ZnO金剛石Si結(jié)構(gòu)的瑞利波頻散特性計(jì)算
- 什么是薄膜與厚膜？薄膜與厚膜有什么區(qū)別？ 1291次閱讀
- CVD成為工業(yè)制造應(yīng)用更優(yōu)選 425次閱讀
- CVD金剛石在機(jī)械密封領(lǐng)域中的應(yīng)用 651次閱讀
- 金剛石表面改性技術(shù)研究概況 831次閱讀
- 高功率連續(xù)波單頻589nm金剛石鈉導(dǎo)星激光器研究 812次閱讀
- 異質(zhì)外延單晶金剛石及其相關(guān)電子器件的研究進(jìn)展 1475次閱讀
- 基于金剛石優(yōu)異內(nèi)在特性的光子學(xué)應(yīng)用 562次閱讀
- 制造等離子納米金剛石 615次閱讀
- 金剛石半導(dǎo)體的特點(diǎn) 金剛石半導(dǎo)體的應(yīng)用市場(chǎng) 2671次閱讀
- 金剛石晶格約束下二維固態(tài)氦盤的晶體結(jié)構(gòu)介紹 1097次閱讀
- 單晶硅片與蝕刻時(shí)間的關(guān)系研究 496次閱讀
- 金剛石基氮化鎵（GaN）技術(shù)的未來(lái)展望 1.4w次閱讀
- 激光焊接金剛石鋸片的一些參量檢測(cè) 684次閱讀
- 三分鐘帶你了解金剛石散熱片的生成方法及在微波射頻領(lǐng)域的應(yīng)用 8804次閱讀
- 金剛石合成控制系統(tǒng)中多串口通信技術(shù)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn) 818次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1電子電路原理第七版PDF電子教材免費(fèi)下載
- 0.00 MB | 1491次下載 | 免費(fèi)
- 2單片機(jī)典型實(shí)例介紹
- 18.19 MB | 93次下載 | 1 積分
- 3S7-200PLC編程實(shí)例詳細(xì)資料
- 1.17 MB | 27次下載 | 1 積分
- 4筆記本電腦主板的元件識(shí)別和講解說(shuō)明
- 4.28 MB | 18次下載 | 4 積分
- 5開關(guān)電源原理及各功能電路詳解
- 0.38 MB | 11次下載 | 免費(fèi)
- 6100W短波放大電路圖
- 0.05 MB | 4次下載 | 3 積分
- 7基于AT89C2051/4051單片機(jī)編程器的實(shí)驗(yàn)
- 0.11 MB | 4次下載 | 免費(fèi)
- 8基于單片機(jī)的紅外風(fēng)扇遙控
- 0.23 MB | 3次下載 | 免費(fèi)
本月
- 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費(fèi)
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下載
- 0.00 MB | 66304次下載 | 免費(fèi)
- 3protel99下載protel99軟件下載(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下載 | 免費(fèi)
- 4LabView 8.0 專業(yè)版下載 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下載 | 免費(fèi)
- 5555集成電路應(yīng)用800例(新編版)
- 0.00 MB | 33562次下載 | 免費(fèi)
- 6接口電路圖大全
- 未知 | 30320次下載 | 免費(fèi)
- 7Multisim 10下載Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下載 | 免費(fèi)
- 8開關(guān)電源設(shè)計(jì)實(shí)例指南
- 未知 | 21539次下載 | 免費(fèi)
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935053次下載 | 免費(fèi)
- 2protel99se軟件下載(可英文版轉(zhuǎn)中文版)
- 78.1 MB | 537791次下載 | 免費(fèi)
- 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
- 未知 | 420026次下載 | 免費(fèi)
- 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費(fèi)
- 5Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233046次下載 | 免費(fèi)
- 6電路仿真軟件multisim 10.0免費(fèi)下載
- 340992 | 191183次下載 | 免費(fèi)
- 7十天學(xué)會(huì)AVR單片機(jī)與C語(yǔ)言視頻教程 下載
- 158M | 183277次下載 | 免費(fèi)
- 8proe5.0野火版下載(中文版免費(fèi)下載)
- 未知 | 138039次下載 | 免費(fèi)
工商網(wǎng)監(jiān)
評(píng)論